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日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器旋轉(zhuǎn)型FGRC 采用蝸輪 + 皮帶傳動(dòng)，支持 16 級(jí)速度調(diào)節(jié)（20~200°/s）和 10 級(jí)位置細(xì)分，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓微米級(jí)定位需求（如檢測(cè)設(shè)備中傳感器的精密旋轉(zhuǎn)）。 搭配 ECR 控制器時(shí)，支持實(shí)時(shí)扭矩監(jiān)控，可通過(guò) IO-Link 遠(yuǎn)程調(diào)整參數(shù)，避免過(guò)載損傷工件。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑臺(tái)型FLCR 采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動(dòng)，支持 16 級(jí)速度調(diào)節(jié)（5~300mm/s）和 10 級(jí)位置細(xì)分，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓微米級(jí)定位需求（如檢測(cè)設(shè)備中傳感器的精密移動(dòng)）。 搭配 ECR 控制器時(shí)，支持實(shí)時(shí)扭矩監(jiān)控，可通過(guò) IO-Link 遠(yuǎn)程調(diào)整參數(shù)，避免過(guò)載損傷工件。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器雙夾爪夾持型FLSH 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)精準(zhǔn)可控：區(qū)別于氣動(dòng)夾爪的 “剛性?shī)A持”，F(xiàn)LSH 系列通過(guò)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，支持16 級(jí)夾持力調(diào)節(jié)（最小調(diào)節(jié)單位 1N）和無(wú)級(jí)速度調(diào)節(jié)（5~50mm/s），可根據(jù)工件材質(zhì)靈活適配（如對(duì)陶瓷芯片用 5N 輕柔夾持，對(duì)金屬外殼用 40N 穩(wěn)固夾持），避免工件劃傷或脫落。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器3夾爪夾持型DCKW 高精度定心夾持：3 夾爪呈 120° 對(duì)稱(chēng)分布，相比 2 夾爪能自動(dòng)對(duì)中工件（定心≤0.02mm），尤其適合圓形 / 環(huán)形工件（如軸承、齒輪、密封圈）。 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)優(yōu)勢(shì)： 相比氣動(dòng)夾持器，夾持力 / 速度可精確編程（避免氣動(dòng) “力不可控” 導(dǎo)致的工件損傷）； 無(wú)氣源依賴(lài)，減少氣管布局，降低車(chē)間噪音及能耗。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器GCKW GCKW 系列采用三爪聯(lián)動(dòng)卡盤(pán)設(shè)計(jì)，單側(cè)行程達(dá) 3mm（總行程 6mm），最大夾持力 29N，可穩(wěn)定抓取 φ16~φ100mm 的晶圓或圓柱形工件。其重復(fù)定位精度達(dá) ±0.02mm，通過(guò)內(nèi)置螺旋彈簧機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自鎖，斷電時(shí)仍能保持夾持力，避免工件墜落風(fēng)險(xiǎn)。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器GCKW GCKW 系列采用三爪聯(lián)動(dòng)卡盤(pán)設(shè)計(jì)，單側(cè)行程達(dá) 3mm（總行程 6mm），最大夾持力 29N，可穩(wěn)定抓取 φ16~φ100mm 的晶圓或圓柱形工件。其重復(fù)定位精度達(dá) ±0.02mm，通過(guò)內(nèi)置螺旋彈簧機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自鎖，斷電時(shí)仍能保持夾持力，避免工件墜落風(fēng)險(xiǎn)。